河北日报记者 郭晓通

5月7日，在位于张家口市张北县电子信息科创园的河北中和芯半导体设备有限公司的厂房里，一个个“柜子”整齐排列，身着工装的技术人员忙着逐个检测。

“柜子”约1.5米长、1.2米宽、2米高，透过视窗，可以看到里面阀门、树脂管件、泵、过滤器等部件。“一个‘柜子’的售价在40万元以上。这一批即将发往安徽、山东等地。”中和芯技术人员方国栋介绍。

看似普通的“柜子”，为何有这么高的价格？

“这些‘柜子’是我们研发的高纯化学品直供系统设备，专门用于生产芯片。”中和芯董事长车占给出了答案。

中和芯是一家从事化学电子工艺技术开发应用及设备制造的企业，总部设在北京，2023年6月制造项目落户张北县，开启了“北京研发、张北制造”的运营模式。

“一条完整的芯片生产线需要100多种不同设备，我们的产品是芯片生产离不开的设备之一。”车占告诉记者，他们生产的高纯化学品直供系统设备，用于芯片湿法制作过程中的蚀刻、显影、清洗、抛光等工艺环节，可循环使用。

在芯片制造过程中，需要将高纯净度、高腐蚀性的液体，以稳定的压力和流量输送到加工部位。“液体输送的纯度和精度直接关系到芯片加工的质量。”车占介绍，他们通过优化产品设计，应用新材料，升级软件，成功解决了设备流量、压力不稳等问题，“设备中的管路、阀门和泵，不仅耐腐蚀，而且性能稳定。”

“我们可以根据芯片制造企业的生产线需求，开展点单订制服务，提供不同规格的高纯化学品直供系统设备。”车占说，他们生产的设备整机设计紧凑，具备液路压力、漏液、排气监视，原液取样、物料无线扫码识别等功能，“中芯国际、华润微电子、长电科技等国内多家芯片制造企业，都是我们的客户。我们的设备还出口越南、老挝等国家。”

“这是我们研发的阀门，经过测试已与进口阀门的质量达到同等水平。”车占拿起一个拳头大的元件说。助力国产芯片产业自主可控，中和芯不断加大研发力度，一批自主研发的设备和零部件推向市场，除了高纯化学品直供系统设备，还有用于硅晶片化学、机械研磨的研磨液供应系统设备，用于危险化学废液回收处理的环保设备。

“张北县提供了3000平方米的标准化厂房，保障了企业的高效生产，我们的设备订单已排到了6月底。”车占表示，他们将继续发挥“北京研发、张北制造”优势，以技术创新不断增强核心竞争力。